Endre Mester แพทย์และศัลยแพทย์ชาวฮังการี ให้เครดิตในการค้นพบผลกระทบทางชีวภาพของเลเซอร์พลังงานต่ำ ซึ่งเกิดขึ้นไม่กี่ปีหลังจากการประดิษฐ์เลเซอร์ทับทิมในปี 1960 และการประดิษฐ์เลเซอร์ฮีเลียมนีออน (HeNe) ในปี 1961
Mester ก่อตั้งศูนย์วิจัยเลเซอร์ที่ Semmelweis Medical University ในบูดาเปสต์ในปี 1974 และทำงานที่นั่นต่อไปตลอดชีวิต ลูกๆ ของเขายังคงทำงานของเขาต่อไปและนำเข้าไปยังสหรัฐอเมริกา
ในปี 1987 บริษัทที่ขายเลเซอร์อ้างว่าสามารถรักษาความเจ็บปวด เร่งการรักษาอาการบาดเจ็บจากการเล่นกีฬา และอื่นๆ อีกมากมาย แต่ในขณะนั้นยังไม่มีหลักฐานมากนัก
เดิมทีเมสเตอร์เรียกวิธีนี้ว่า "การกระตุ้นทางชีวภาพด้วยเลเซอร์" แต่ในไม่ช้าก็กลายเป็นที่รู้จักในชื่อ "การบำบัดด้วยเลเซอร์ระดับต่ำ" หรือ "การบำบัดด้วยแสงสีแดง" ด้วยไดโอดเปล่งแสงที่ดัดแปลงโดยผู้ที่ศึกษาแนวทางนี้ จึงกลายเป็นที่รู้จักในชื่อ "การบำบัดด้วยแสงระดับต่ำ" และเพื่อแก้ไขความสับสนเกี่ยวกับความหมายที่แท้จริงของ "ระดับต่ำ" คำว่า "โฟโตไบโอโมดูเลชัน" จึงเกิดขึ้น